MEMS探针卡
探针卡是晶圆测试环节的核心电性互联载体，可实现测试机与被测芯片间的精准信号传输，通过稳定的通路连接完成芯片电性能参数的高效测试，是保障晶圆良率与性能验证的关键部件。
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产品优势
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01适配业界主流12英寸晶圆测试场景，技术成熟度高，支持“One Touch-down”大幅提升测试效率
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02兼容行业标杆测试机台（如T5833、Magnum5），适配性强
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03支持高速、高温、大电流等复杂工况下的稳定测试
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04提供2D/3D探针配置选项，灵活匹配不同客户的定制化需求
产品功能
对应产品
覆盖 DDR3/4/5、LPDDR3/4/5 等存储类芯片
测试性能
基础速率达 200MHz/400Mbps，最高支持 333MHz/666Mbps；支持 3000Duts/TD 并行测试
技术参数
最小 pitch：53μm
整卡平坦度：≤30μm
探针总量：180K pins / 片
探针力：0.8gf/1.0gf/1.2gf（@1mil）
最大耐电流：1.2A（@20% force drop）
信号共享能力：支持 ×20 ×24 通道配置
热膨胀系数：可选 3.6ppm/℃（及 2.8/3.6/4.0/4.3/5.3 等规格）
